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新世代化學過濾網

AMC背景說明 你還在使用傳統活性碳過濾解決你AMC的問題嗎？　 你了解活性碳過濾網上塗佈之化學藥劑可能會造成你二次污染的問題嗎？　 你真的需要每次更換化學濾網時就必須換新的框嗎？　 你是否為了化學濾網尺寸與對策區域裝設空間不足而煩惱。　 單純買賣濾網而無法針對現場作規劃設計的真正貿易商能給你保障嗎？

氣態分子污染物(Airborne Molecular Contamination ， AMC)環境中隨著氣流漂動 ，有能力沉降於表面上形 成分子層薄膜，對製程良率造成負面影響之氣態化學污染物質。

半導體製程線寬不斷下降，對於製程環境的需求焦點從微顆粒污染轉移至更微小的氣相分子污染物(AMC ， Airborne Molecular Contamination) ，在12”晶圓廠良率提升上，AMC的防治是關鍵技術之一。

傳統的半導體潔淨室設計皆針對固體微粒進行控制，對分子污染物的防治效果有限。


國際半導體技術藍圖制定會 (ITRS) 2005半導體製程之管理界限濃度

Lithography
Total acids ( as SO4)including organic acids
Total bases (NH3)		 <5ppb
<5ppb
Condensable organics (w/GCMSRetention times ≧benzene, calibrated tohexadecane) <26ppb
Refractory compounds (organics containingsulfur, phosphorus, silicon) <0.1ppb
Exposed copper wafer environment
Total acids (as SO4) including organics acids <0.5ppb
Gate wafer environment
dopant ( front end of line only) <0.01ppb
Reticle exposure
Total acids (as SO4)including organics acids <0.5ppb
Total bases ( NH3) <2.5ppb

Acid：酸性腐蝕性物質
Basic：鹼性腐蝕性物質
Condensable：在一大氣壓下沸點在室壓以上的化學物質，易於凝聚在潔淨的表面上（水以外）
Dopant：化學元素用於注入或摻雜在半導體元件上，用於控制元件之電氣特性。

活性碳法所延伸的問題
離子交換法和活性碳法之比較

＊離子交換法

 VS

＊活性碳法
  1. 低發塵。
  2. 吸附之物不會再釋放出來。
  3. 濾材表面上不會添加化學藥品。
  4. 無塵室內濕度之影響極小。
  1. 發塵量高。
  2. 吸附之物有再釋放出來的可能性。
  3. 濾材表面上添加了化學藥品 , 才有可能去除某些離子物質。
  4. 濾材表面上極易吸附水分 , 所以無塵室內之濕度必定要加以控制。
新世代離子交換樹脂濾網特色

CS：Cell Structure (三次元立体構造)
化學過濾器之種類
化學過濾器之種類
區域別及其不同對應之化學過濾器
區域別Filter installation system 使用風速域
Filter velocity		 型式Filter type 濾材種類Chemical filter media
外氣處理系Out side air processing system ~3.0m/s MTO-＊ 粒狀活性炭Granular activated carbon
HS-＊ 蜂巢狀活性炭Honeycomb activated carbon
MTCS-＊ 離子交換樹脂、粒状活性炭Ion exchange resin, Granular activated carbon
循環系Circulation system FFU 0.3~1.0m/s CS-＊ 離子交換樹脂、CS型粒状活性炭Ion exchange resin, Granular activated carbon
PL-＊ 離子交換繊維Ion exchange fiber
AHU 2.5m/s MTCS-＊ 離子交換樹脂、CS型粒状活性炭Ion exchange resin, Granular activated carbon
微環境局部供氣系統The partial supply air system to mini environment / loader part ~3.0m/s MTCS-＊ 離子交換樹脂、CS型粒状活性炭Ion exchange resin, Granular activated carbon
HS-＊ 蜂巢狀況活性炭Honeycomb activated carbon
製造設備Manufacture equipment 0.3~1.0m/s CS-＊ 離子交換樹脂、CS型粒状活性炭Ion exchange resin, Granular activated carbon

PURATEX CS型 發塵測試

經ULPA過濾後之乾淨空氣通過化學過濾器、在化學過濾器下游側進行粒子測試。

10次測定、求其平均值如下所示。

Test Filter：
CS Cation+CS Anion Velocity：0.4m/sec
SIZE(μm) DIFF(N) ACCUM(N)
0.10 0 0
0.15 0 0
0.20 0 0
0.25 0 0
0.30 0 0
0.50 0 0
0.70 0 0
1.00 0 0
Volume : 0.9 CF
Test Filter：
CS Activated carbon Velocity：1.0m/sec
SIZE(μm) DIFF(N) ACCUM(N)
0.10 2 7
0.15 0 5
0.20 1 5
0.25 0 4
0.30 3 4
0.50 1 1
0.70 0 0
1.00 0 0
Volume : 0.9 CF