手套箱
· 供給於手套箱內與由手套箱排出的空氣，皆經由HEPA高效濾網過濾。
· 隨時監控手套箱內負壓狀態並維持在130Pa。
· 手套箱能夠獨立操作，亦可與其他設備相連接。
| 潔淨度 | ISO Class 4(Class 10) |
|---|---|
| 集塵效率 | 有效捕捉99.99%最小尺寸達≧0.3微米的懸浮微粒 |
| 主要濾網 | HEPA 濾網(H14) x2片 |
| 風速(m/s) | 0.45±20% |
| 風量(CMM) | 15 |
| 電源 | 3Φ 220V 60Hz |
| 照明 | LED 10W x1 |
| 結構 | 不鏽鋼 SUS 304 (HL) |
| 消費電力(VA) | 約950 |
※備註：上述規格可依客戶需求訂製。
