高精密恆溫空調機(TCC)
· 潔淨度符合 ISO 等級5（Class 100）。
· 溫度控制範圍為±0.03°C至±0.1°C。
· 可根據內部裝置進行設計調整所需設備的體積。
· 採用多重保護回路，考量安全性。
· 防止產品不良的原因，如粒子、氣體附著，以及因溫度和濕度變化而引起的膨脹或收縮，創造高潔淨、高精度的溫濕環境。
· 提供標準規格範圍40％至60％RH濕度控制，亦可應對5％至40％RH的低濕度需求。
· 使用 PID 控制、超高密封部件及溫度精度氣流系統，溫度波動精度可達0.01°C至0.1°C。
· 應用場域:
半導體製造/曝光機、光刻機、電子束描繪裝置
顯示面板製造/液晶面板、觸控面板、薄膜
精密測定器/精密 2 次元測量機、精密 3 次元測量機
精密環境儀器/處理溫度變化樣本處理
| 型號 | TCC-60S | |
|---|---|---|
| 潔淨度 | ISO Class 5（目標粒徑 0.3μm）（相當於 Class 100） | |
| 外觀尺寸(MM) | 1700(W) x 3735(D) x 2350(H) | |
| 內部尺寸(MM) | 1580(W) x 2975(D) x 1980(H) | |
| 風速(m/s) | 0.25 | |
| 風量(CMM) | 60 | |
| 循環次數(次/小時) | 387 | |
| 集塵要素 | 主要濾網：HEPA 濾網 初級濾網：不織布濾網 |
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| 溫度設定 | 20～23℃ ±0.03℃（單點保證） 溫度分布 ±0.1℃ | |
| 周圍條件 | 溫度設定 ±2℃ （但無急劇的溫度變化） | |
| 冷卻機 | 2HP（1.5 kW）水冷式（冷卻水量 13 L/min［25℃］）（參考：32 L/min［32℃］） | |
| 蒸發器 | 直膨式鋁板翅型 - 陽極氧化塗裝 | |
| 加熱器 | 電氣加熱器（6 kW × 1 台，2 kW × 1 台） | |
| 溫度調節器 | 電子式溫度調節器 | |
| 控制 | PID控制 | |
| 構造 | 空調單元 - 鋼板製烤漆塗裝周圍側面 - 鋼板製烤漆塗裝正面 – 隔熱面板門 | |
| 照明 | LED 照明 20W 相當 × 4 燈（黃色） | |
| 顏色 | 象牙白、珍珠白 | |
| 必要設備及設備電力 | 電源 | 一般電源：AC 220V、3φ、50Hz、75A |
| 冷卻水 | 水量：13 L/min［25℃］（參考：32 L/min［32℃］） 供給壓力：0.25～0.6 MPa（但無急劇的壓力變化），且入口與出口的壓力差需在 0.25 MPa 以上。 溫度：需在 16℃ 以上（若低於 16℃，請另行指示）。 |
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| 排水 | 排水管道應在不改變管徑的情況下，在3米內排出，或者更改管路以向下排放。冷卻水入口、出口、排水管、出口、壓縮空氣位於空調底部（內部出口×2處） | |
| 顯示異常及安全電路 | ．風扇、加熱器、冷卻系統、溫度、漏水異常 ．風扇~加熱器聯鎖、餘熱防止電路 |
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| 除外項目 | 不包括一次側電氣工作、一次側冷卻水入口、出口和排水管道 | |
| 重量(kg) | 1000 | |
| 備註 | 停水時會自動停止 | |
| 其它 | 主體接地 包括監控溫度控制器和溫度感測器（機器外電纜長度 ~ 4M） 一次電源用端子台 冷媒氣體 R407C |
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